Автор туралы ақпарат
Ageichenkov, D. G.
| Шығарылым | Бөлім | Атауы | Файл |
| Том 68, № 10 (2023) | PHYSICAL PROCESSES IN ELECTRONIC DEVICES | Flow of high-energy positive oxygen ions from plasma onto the substrate in a pulsed magnetron discharge with a hot target. |