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Nº 7 (2024)
The effect of atmospheric oxide thermodesorption on negative-ion atomic and cluster sputtering of silicon single crystal by cesium ions
Atabaev B., Djabbarganov R., Khalmatov A., Rakhmatov A., Kamardin A.
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(Rus)
Nº 9 (2024)
Determination of the ratio of atoms and molecules in a tellurium beam using a mass spectrometer
Mikhailov V., Polyak L.
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(Rus)
Nº 4 (2024)
Study of SiO2 films implanted with 64Zn+ ions and oxidized at elevated temperatures
Privezentsev V., Sergeev A., Firsov A., Kulikauskas V., Zatekin V., Kirilenko E., Goryachev A., Kovalskiy V.
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(Rus)
Nº 5 (2024)
Complex Diagnostics of Silicon-on-Insulator Layers after Ion Implantation and Annealing
Yunin P., Drozdov M., Novikov A., Shmagin V., Demidov E., Mikhailov A., Tetelbaum D., Belov A.
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(Rus)
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